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CS系列产品介绍
发布日期:2013-12-31

 

CS系列产品介绍

CS系列产品包括CS200A/C/D,CS230ACS310/CS320等型号,它们均为数字式质量流量计,共同构成了七星流量计的高端家族,以下是具体产品介绍:

===============================CS200 A/C/D==========================

CS200 A/C/D主要指标:

■全数字流量计

■高精度: ±1.0% 设定点 (≥35% FS

±0.35% 满量程(<35% FS

■低零飘:没有零点校正时<0.6%/

■低温飘: zero: < 0.02% FS/

span: < 0.05% FS/

■快响应:≤0.8sec

■全金属密封:所有和气体接触的表面都是金属。

 

CS200 A/C/D产品关键技术创新点:

   恒功率传感器驱动方式

CS200产品中,采用了一种新型恒功率式传感器技术,该技术采用保持传感器工作状态恒定方法。大幅度提高了系统测量精度、响应速度等多项性能指标。

  数字传感器平衡技术

CS200产品中,采用了一种数字式传感器电桥平衡方法,可以用连续电压对传感器驱动电压进行温度补偿,提高了产品传感器对于温度漂移抑制,使产品可以抵抗温度剧烈变化环境。

  VCP阀控技术

CS200产品中,阀控技术采用多项新成果,统称为VCP技术(Valve Correct Pedestal)。该结构阀内部气体死驱空间少,阀响应速度快,无磁滞现象。采用VCP技术可以有效地提高气体质量流量控制器品质。系统响应速度快,对于较低设定值依然能达到良好的控制效果。

 ===============================CS230A==============================

CS230A介绍:

CS230产品是七星电子研发的大流量产品,最高流量可达300SLM,并可实现数字/模拟控制模式;产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加出色,最多2秒的高速响应将使用过程中产生的系统误差最小化,所以流量更加精准,实现低零漂、低温漂。

CS230A主要指标:

 

CS230

型号

CS230-A

阀类型

常闭

流量规格(N2)

(50,100,150,200,250,300) SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)      ±0.35% F.S.(35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 2sec

工作压差范围

0.100.30MPa  50SLM≤满量程流量(N2)≤150SLM

0.150.35MPa  150 SLM<满量程流量(N2)≤300SLM

0.02 MPa

温度系数

零点: ≤±0.02% F.S/

耐压

3MPa  (435pisg)

漏率

1×10-9 Pa·m3 / sec He

密封材料

氟橡胶;氯丁橡胶

工作环境温度

545

输入信号

数字: RS485

模拟:(05)VDC(420)mA

输出信号

数字:RS485

模拟:(05)VDC(420)mA

零漂

在没有零点校正时<0.6%F.S/

电源

±8 ±16 VDC (双极) +14 +28VDC (单极)

表面化学成分

常态

标准接头形式

Swagelokφ6Swagelok1/4´´(流量60SLM时选用);

Swagelok φ8mm(流量200SLM时选用);

Swagelok φ10mmSwagelok 3/8´´Swagelok 1/2´´VCR 1/2´´VCO 1/2´´;

电源接头形式

D15针阳接头

重量

2.6 Kg

1.5 Kg

       

 

=============================== CS300================================

CS300介绍:

CS300气体质量流量控制器是北京七星电子为大规模集成电路设备专门设计的新一代产品。该产品在原有CS200基础上,采用了基于DF的压力信号补偿算法,增强了金属表面处理工艺,产品各项技术指标均严格按照SEMI标准,支持W型,C型和BIGS气路系统。

产品有精度高,响应速度快,使用便捷、可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等诸多优点。CS产品已申请了多项专利,并通过了CEUL等认证。

CS300列产品的主要创新点:

  恒功率传感器驱动方式

CS300系列产品中,采用了一种新型恒功率式传感器技术,该技术采用保持传感器工作状态恒定方法。大幅度提高了系统测量精度、响应速度等多项性能指标。

  压力补偿技术

CS300系列产品中,采用压力补偿功能解决压力变化对瞬时流量影响,从而保证产品工作的稳定性和准确性

  数字传感器平衡技术

CS300系列产品中,采用了一种数字式传感器电桥平衡方法,可以用连续电压对传感器驱动电压进行温度补偿,提高了产品传感器对于温度漂移抑制,使产品可以抵抗温度剧烈变化环境。

  VCP的阀控技术

CS系列产品中,阀控技术采用多项新成果,统称为VCP技术(Valve Correct Pedestal)。该结构阀内部气体死驱空间少,阀响应速度快,无磁滞现象。采用VCP技术可以有效地提高气体质量流量控制器品质。系统响应速度快,对于较低设定值依然能达到良好的控制效果。

  4、电化学抛光技术 electro-chemical polishing

CS300系列产品采用了电化学抛光技术进行表面处理,机械部件内部表面粗糙度均达到Ra0.1,具有卓越的耐腐蚀性能。

 

 


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