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30年磨一剑:国产流量计的坚守者
发布日期:2013-12-16

 

      时间总会记录下一些关键的时刻:比如继1979年中国第一台气体质量流量控制器推出的整整30年之后,2008年七星电子推出了中国第一台数字式全数字化质量流量控制器。2010年,七星电子MFC研发团队继续推出了代表国际先进水平的CS300压力不敏感质量流量控制器。次年3月7日至14日, CS300系列气体质量流量控制器亮相国家“十一五”重大科技成就展。

     凡此种种的成绩,以及随之而来的荣誉,都难免让旁观者感到惊奇:是什么样的力量让七星电子流量计在新的世纪里焕发出如此的能量?要解开这样的谜团,还要从七星电子的过去说起。

 

     北京七星华创电子股份有限公司(简称“七星电子”),前身是中国信息产业基础装备研制和生产的重点骨干企业,其控股股东——北京七星华电科技集团有限责任公司,是在原七○○厂、七○六厂、七○七厂、七一八厂、七九七厂、七九八厂六家建于“一五”期间的国家骨干电子企业的基础上,重组、改制而成的高科技企业集团,公司资产总额14.6亿元人民币.注册资本9亿元人民币。

     而七星电子质量流量计分公司,就是由隶属于原电子部(四机部)的原北京建中机器厂(北京700厂)流量计事业部发展而来的北京市高新技术企业。

 

     早期的流量计研发,当时国内没有任何可以借鉴的经验和技术,设备非常落后,可谓开发产品的环境相当恶劣。但比较幸运的是,当时有一支精英团队,团队中不乏清华毕业的高材生,他们克服了艰苦的外界环境限制,不断的实验,不断的自己摸索,最终“功夫不负有心人”,于1979年研制出国内首台气体质量流量控制器D07-1/ZM型。这是一款划时代的产品,它填补了中国气体测控历史上的空白。该产品第一次在半导体器件制造设备上发挥了气体控制的作用,并且获得了1980年度国防工办颁发的“重大技术改进成果一等奖”。

     七八十年代,可以算是流量计的自我发展阶段。这段时间里老七星人通过踏实的努力取得了更多成绩:

1985年,作为全国第一家生产流量计的企业承担的国家“六五”计划攻关项目快速质量流量控制器D07-7和大流量质量流量控制器D07-9样机试制成功。

1986年,改良的D07-7A型产品一经推出便迅速成为国内主流产品。

1987年,获电子工业部科技成果奖。

1988年,老七星人研发成功国内第一台质量流量校准台。

1994年, 老七星人起草编制国内第一个关于气体质量流量控制器的“电子部工业标准” “SJ/T10583-94气体质量流量控制器通用技术条件”正式发布。

 

  经过第一个时期的发展,在技术、资金、市场资源的掌握和专业人才的储备等各个方面都有了较好的积累,七星电子流量计开始放眼全球的的发展态势,紧跟行业里的领头羊,拼命追赶,缩小差距。2001年,七星集团整合优良资产组成了北京七星华创电子股份有限公司后,流量计分公司诞生。2004年,七星同法国QULIFLOW 公司合资成立专门负责流量计生产的弗洛尔公司,并新建了高标准的百级净化厂房和千级装配室,以及一整套技术领先的标定、整定、测试及清洗设备。从设备及生产线等硬件上,七星已经与国际一流的流量计生产厂家站在了同一水平。

 

     机遇的降临往往伴随着巨大的挑战。国产品牌要实现品质上的国际化,就必须以国际化的视野和观念进行思考。七星电子流量计的D07系列从研发出中国第一款气体流量计以来,已经陆续推出了几十种型号,产品覆盖了众多行业,足迹也遍布了全国大部分地区的大小企业,广为人知。但是稳定性和性能要求更高的半导体行业,却长期被国外高价产品垄断。

     这让七星人不但看到了自身产品的差距,更感受到了巨大的危机感:不能推出可与国外高端产品抗衡的流量计,就无法确保在国内的领军地位,更无法走向世界,迈向更高。

     但是,七星人明白,不合理的行业状况一定要被改变。而作为中国电子基础产品的奠基者,背靠国家重点专项的大力支持,七星电子有责任承担起攻克技术难题,打破国外产品高价垄断的历史重任。与此同时,半导体和集成电路设备制造业的正处于迅猛发展时期,势必会带动核心配套器件和相关仪器的迅猛发展。适合8英寸生产线的气体质量流量控制器,作为IC领域设备的核心元器件,其产品的需求也正是增长期,市场前景相当可观。

     七星电子流量计分公司在做了大量的市场调查后,决定抓住这个历史契机,于2006年开始研发适用8”半导体设备要求的全新高性能的全金属密封的数字质量流量计。此CS系列新品中的CS200型气体质量流量控制器就是专门针对IC半导体制造工艺研发的。

 

     2008年,经过七星人的不懈努力,七星电子成功推出了第一台我国自主研发的应用于8英寸半导体光伏、LOW-E等大型生产线的CS200全数字化质量流量控制器,直接改变了我国数字质量流量控制器完全依赖进口的局面。

     此系列的产品一经问世就让从前被进口产品垄断的行业内客户眼前一亮。但客户出于对关键部件的谨慎,初期将CS200产品使用在单机设备中。随着在实践中的验证,CS200系列产品稳定的性能征服了越来越多的客户,自2009年后越来越多的客户将CS200系列产品应用于大型生产线中,如在LOW-E和ITO等行业中CS200产品已经在近15条大型生产线上得到成功的应用,用量达到上千台。

     在目前快速发展的光伏行业中,七星电子的产品更是取得了大规模的应用,CS200系列产品已在光伏行业内应用于100多条大型生产线中,光伏电池片生产线不仅对流量计产品的技术指标要求高,而且由于生产线24小时运转,对产品的可靠性要求更高,我们的产品不仅大批量应用于国产设备的扩散炉、PECVD、刻蚀机上,而且在进口扩散炉、PECVD上成功替换了进口产品,均得到了用户的认可。

     截止2013年,CS系列产品的销量已经突破20000多台,在各大半导体、泛半导体行业生产线得到应用。CS系列产品的成就,不是一朝一夕的付出就能取得的。是七星作为国产流量计的领军品牌30多年来的坚守,积累了雄厚的研发实力以及人才队伍,并克服了重重困难实现的。我们在向今天欢呼成就的时候,更应该像昨天致敬!

 

 

 

 

 

 

 

 

 


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