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准备好所需零部件:两个扳手、前后卡套、螺母、与MFC接口配套的不锈钢管。(此教程以Φ6为例)
 

  

分清MFC的进出气方向,底座右侧箭头所示方向为气体流向
 

  

如下图所示,分别将螺母、后卡套、前卡套装在不锈钢管上与MFC进气口配合
 


用手拧紧螺母
 


 

如下图所示双扳手操作,旋转1.25 圈拧紧。注意事项:使用双扳手操作,用一只扳手卡住接头不动,用另一只扳手旋转螺母。

 



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