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准备好所需零部件:两个扳手、螺母、垫片、与MFC接口配套的不锈钢管。(此教程以1/4’钢管为例)

 

 


 

 

分清MFC的进出气方向,底座右侧箭头所示方向为气体流向

 


 

 

如下图所示,将垫片放在两VCR接头与MFC进气口接头之间 

 


  


 

用手拧紧螺母

 


 

如下图所示双扳手操作,用一只扳手卡住接头不动,用另一只扳手旋转螺母,要求用扳手旋转1/8 至1/4 圈。

 


 

进气口安装完成

 



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