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D07-60BM 气体质量流量计
产品型号:D07-60BM
产品系列:D07系列模拟质量流量控制器
产品类型:大流量型
详细参数 商品简介 资料下载
产品型号 D07-60BM
产品类型 大流量型
流量量程 300slm,500slm,750slm,1000slm,1500slm,2000slm
产品精度 ±2%F.S.
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±1%F.S.
响应时间 ≤10sec
工作温度范围 (5~45)°C
耐压 3MPa
密封材料 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
输入输出信号 (0~5)VDC
电源 ±15V
阀类型 无阀
温度系数 - 无 -
零点飘移指标 - 无 -
电气连接 D sub 15 pins Male
工作压差范围 <0.2 MPa
漏率 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He)
标准接头形式 双卡套1/2”(满量程≤1000slm),双卡套Φ10(满量程=300slm)
表面化学成分 - 无 -
表面粗糙度 - 无 -
抗电磁干扰 - 无 -
重量 5Kg

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