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CS100 数字式气体质量流量控制器
产品型号:
产品系列:CS系列数字式质量流量控制器
产品类型:高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
详细参数 商品简介 资料下载
产品型号
产品类型 高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
流量量程 1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
产品精度 ±0.35%F.S.(<35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±0.5% F.S.
响应时间 ≤1sec
工作温度范围 (0~50)°C
耐压 3MPa
密封材料 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,金属密封 Metal
输入输出信号 (0~5)VDC
电源 ±15V,24V
阀类型 常闭
温度系数 Span: ≤±0.05% F.S./℃,Span: ≤±0.1% F.S./℃
零点飘移指标 - 无 -
电气连接 Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作压差范围 (0.05~0.35) MPa (F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm)
漏率 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He)
标准接头形式 双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分
表面粗糙度 25µinch
抗电磁干扰 - 无 -
重量 1.2Kg
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