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CS310C 数字式气体质量流量控制器
产品型号:CS310C
产品系列:CS系列数字式质量流量控制器
产品类型:高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
详细参数 商品简介 资料下载
产品型号 CS310C
产品类型 高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
流量量程 1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
产品精度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional),±0.35% F.S. (<35% F.S.) (±0.24% F.S. (<30% F.S.) optional)
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±0.5% F.S.
响应时间 ≤0.8sec
工作温度范围 (0~50)°C
耐压 3.5MPa
密封材料 金属密封 Metal
输入输出信号 RS-485,DeviceNet
电源 ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
阀类型 常开或常闭
温度系数 Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero ≤±0.02% F.S./℃
零点飘移指标 <0.6%F.S. per year without autozero
电气连接 D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作压差范围 (0.05~0.35) MPa (F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm)
漏率 1×10-10atm•cc / sec He(1×10-11 Pa•m3 / sec He)
标准接头形式 VCR1/4”,IGS W型,IGS C型
表面化学成分 Cr/Fe ratio >2.0,CrO thickness >20 Angstroms
表面粗糙度 5µinch
抗电磁干扰 CE
重量 1Kg
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